8/12英寸全自動Overlay量測設備
該設備用於12 inch 鍵合晶圓，包括上料單元/傳輸單元/晶圓對準單元和量測單元， 廣泛應用於熔融/混合鍵合晶圓鍵合的結果量測。
設備優勢
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01軟件全自動作業控制
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02內環境達Class1等級
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03全自動設備，Loadport自動上下料，可實現自動化生產系統對接
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04光學鏡頭：5x/10x/20x可選
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05高速移動&對焦方案，提高量測效率
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設備展示
基本信息
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1. 適用產品：D2W/W2W鍵合精度量測
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