8/12英寸全自動晶圓預處理設備
該設備兼容 12 inch Frame & 8/12 inch 晶圓，包括晶圓清洗和表面活化預處理單元。
設備優勢
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01整機模塊化設計，方便安裝調試和維護
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02內環境達Class1等級
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03全自動設備，支持Frame/Wafer自動上下料，可實現軟件全自動作業控制
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04關鍵部件自製
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設備展示
基本信息
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1. 適用產品：8/12 inch 晶圓 ＆ 12 inch Frame
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