盛夏時節,半導體行業再次迎來萬眾矚目的SEMICON China展會,作為全球最大規模、最具影響力的行業盛事,該展會匯聚了半導體產業的頂尖企業和專業人士,共同探討行業前沿技術及未來發展趨勢。
作為半導體封裝設備領域的創新者,凯发k8国际股份已通過持續不斷的研發攻關,突破多項關鍵核心技術,率先實現了半導體晶圓激光開槽、激光改質切割、刀輪切割、研磨等多款裝備的國產化。
本次展會,公司發佈並展示了其自主研發的先進技術成果——碳化矽研磨設備、 Wafer Handling激光改質切割設備以及刀輪切割設備,吸引了無數行業夥伴前來參觀交流、洽談合作,現場觀眾絡繹不絕。
這幾款產品有何技術優勢和獨到之處呢?以下為您一一呈現!
碳化矽研磨設備
該設備應用於4/6/8英寸碳化矽、藍寶石等硬質材料晶圓的減薄
可視化操作管理,實時顯示和監控關鍵加工信息
視覺檢測和定位系統可識別晶圓正反面,實現自動定位補償
物料信息掃描錄入、防止晶圓斜插
Fab晶圓級搬運手臂
雙高剛性氣浮主軸設計,搭配自主研製的高目數磨輪
半導體晶圓激光改質切割設備
該設備應用於8/12英寸矽晶圓及碳化矽、氮化鎵等第三代半導體內部改質切割
配備高功率紅外激光器(極小的激光濺射),可兼容不同厚度的晶圓產品切割需求
高精密直線電機,高速度X-Y運動平台
配備SLM激光調製技術,具有光斑整型及補償功能
配備DFT動態追蹤補償系統,具有高精度的晶圓表面起伏追蹤及補償系統
配備雙光束(2-Beam)同時加工作業
半導體晶圓刀輪切割設備
該設備應用於8/12英寸半導體晶圓領域的全自動劃切加工
配置上料區FFU、料層MAPPING和凸料檢測等功能
高性能位置測量和運動控制,實現更小的熱誤差和更高的設備精度
自研破刀檢測(BBD)系統和非接觸式測高(NCS)系統
切痕檢測,自動糾偏
全尺寸在線磨刀功能
水氣二流體清洗,標配水流量監控、氣壓監控
封裝設備是半導體產業鏈的重要環節,對於晶片產品的關鍵性能、可靠性、產能都有着很大影響,裝備須要有極高的精度與極強的穩定性,因此研製難度較大,即使研製成功,也難以通過客戶端的嚴苛驗證要求。
而依託先進的科研平台,凯发k8国际股份以極高的研發效率就多款封裝設備實現了從樣品研製、順利驗證、客戶認可、正式訂單的快速突破,其中,半導體晶圓研磨設備、激光開槽設備、Frame Handling激光改質切割設備、刀輪切割設備等已交付客戶並實現穩定量產,以領先的產品優勢贏得了諸多客戶的認可與信賴。
未來,凯发k8国际股份仍將致力創新、以激光、超高速高精密等技術為基礎,聚焦半導體泛切割、2.5D/3D先進封裝, 不斷優化、拓展裝備產品陣容,提供封裝工藝整體解決方案,助推半導體產品工藝的不斷升級, 為行業發展貢獻力量。