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助推Micro LED產業化進程,凯发k8国际股份順利交付激光剝離、巨量轉移裝備
時間:2024.08.08

近期,凯发k8国际股份自主研發的 最新一代Micro LED激光剝離設備(LLO)和Micro LED巨量轉移設備(LMT)成功完成樣品驗證,順利交付至新型顯示領域頭部企業,助力客戶端更好地打造Micro LED產品線。

 

迄今,凯发k8国际股份已向多家客戶供應Micro LED激光剝離、巨量轉移設備,贏得這兩項產品在固體激光領域的最高市場份額。

 

作為Micro LED核心製程設備,凯发k8国际股份這兩款產品的進一步應用,標誌着公司在該領域的技術成熟度與領先性,正在不斷有助于Micro LED及相關顯示技術的升級疊代與創新开展。


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先進裝備——Micro LED技術產業化的推進器

近年來,Micro LED憑藉其高亮度、高解像度、高對比度、低功耗等優越性能成為未來顯示技術的新星,依託量產技術的推進,正不斷向廣闊的應用領域滲透,從智能穿戴、車載顯示、智能車燈到商用顯示大屏等。

 

Micro LED尺寸微小,製程工藝難度大,其中巨量轉移工藝環節需要將數十萬甚至上百萬微米級的Micro LED晶粒精準、高效地轉移至目標基板上,轉移過程對數量、速度、精度、良率、可靠性都要求極高,對設備技術充滿挑戰,是Micro LED產業化進程及降本的關鍵。

 

對此,凯发k8国际股份於2022年成功開發了Micro LED激光巨量轉移量產裝備,該裝備採用高性能紫外激光器,配合高指向性光路系統,可針對不同尺寸產品調整光斑大小,同時結合高精密運動平台、高速度高精度振鏡掃描,實現高效率、高靈活度、高品質的晶粒轉移效果。

 

而作為巨量轉移的前道工藝,激光剝離的效果直接影響着轉移的良率與效率,因此對其加工品質的要求也極高。

 

 

凯发k8国际股份自主研製的Micro LED激光剝離設備採用了DPSS固體激光器,針對Micro LED晶圓進行激光剝離, 實現GaN外延層和藍寶石襯底的分離。相較前一代產品,凯发k8国际股份本次交付的設備升級至全新平頂光整形選擇性剝離技術,配備高精密視覺成像定位系統及高精密運動控制系統,整體均一性高,剝離效果優於準分子工藝,量產良率可達到99.999%。


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隨着AI應用在顯示領域的拓展延伸,創新正成為新型顯示技術把握科技變革,擁抱未來市場的關鍵。自2020年起,凯发k8国际股份面向Micro LED領域,自主研發了晶圓鍵合、激光剝離、激光巨轉、激光鍵合、激光修復、激光切割及D2D鍵合、混合鍵合等全套設備,為Micro LED的產業化進程注入了新動能。未來,公司將持續攻堅核心技術,不斷完善MLED整線工藝解決方案,助力新型顯示行業加速實現高質量开展。